溅射方法和溅射设备JianSheFangFaHeJianSheSheBei

[TiMing]：JianSheFangFaHeJianSheSheBeiJianSheFangFaHeJianSheSheBei

[申请号]：97119330[公开号]：1178843

[公告号]：1152977[申请日期]：19970828

[公开日期]：19980415[公告日期]：00000000

[授权日期]：20040609

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：C23C14/34;C23C14/54

[申请人]：松下电器产业株式会社

[ShenQingRen]：SongXiaDianQiChanYeZhuShiHuiShe

[国家省市]：日本(JP)

[地址]：日本大阪府

[DiZhi]：RiBenDaZuoFu

[邮编]：

[发明人]：奥田晃;横山政秀;早田博  [FaMingRen]：AoTianHuang、HengShanZhengXiu、ZaoTianBo

[代理人]：萧掬昌;叶恺东  [DaiLiRen]：XiaoZuoChang,YeZuoDong

[代理机构]：中国专利代理(香港)有限公司(72001)[代理地址]：香港湾仔港湾道23号鹰君中心22字楼()

[审批历史]：

[页数]：9[附图]：6[优先权]：    日本1996年8月28日226512/96[PCT]：[范畴]：25F38F[权利要求]：
    一种溅射方法，其中在放电溅射时，增加放电气体的流速以便使真空室（５）压力高于溅射压力，    该方法包括：    打开触发气体馈给系统（７）以增加放电气体流速来使真空压力高于放电开始之前的溅射压力；    当引

[权利要求数]：0

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种在放电开始之前通常保持打开的触发气体馈给系统。当产生放电时，即刻关闭触发气体馈给系统，从而使真空室处于溅射压力。在放电完成之后再次打开触发气体馈给系统。持续打开状态直至开始另一次放电。因此，在放电前真空室压力总是保持恒定，并且将真空室恢复到溅射压力的时间缩短。

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[下一条]：采用时分双工/频率跳跃的无线通信系统