[TiMing]：DengLiZiTiYuanCaiLiaoNeiBiaoMianLiZiZhuRuZhuangZhi
[申请号]：96201360[公开号]：00000000
[公告号]：2278698[申请日期]：19960202
[公开日期]：00000000[公告日期]：19980415
[授权日期]：00000000
[专利类型]：实用新型
[国际类型]：C23C14/48
[申请人]：中国科学院物理研究所
[ShenQingRen]：ZhongGuoKeXueYuanWuLiYanJiuSuo
[国家省市]：北京(11)
[地址]：北京市603信箱
[DiZhi]：BeiJingShi603XinXiang
[邮编]：100080
[发明人]：孙牧;杨思泽;李兵 [FaMingRen]：SunMu、YangSiZe、LiBing
[代理人]： [DaiLiRen]：
[代理机构]：(00000)[代理地址]：()
[审批历史]：
[页数]：5[附图]：4[优先权]：[PCT]：[范畴]：25F[权利要求]：
一种由真空系统１、灯丝电源２、放电偏压源３、脉冲调制器４、直流高压电源５、注入工件６、电离规７、工作气体源８、真空室９、监控系统１０组成的等离子体源材料内表面离子注入装置其特征在于：还包括一个金属内
[权利要求数]：4
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本实用新型涉及一种等离子体处理装置，特别是涉及材料内表面等离子体改性处理装置。本实用新型的目的在于实现工件材料内表面的等离子体原离子注入，使工件内、外表面都能得到均匀的改性处理。为此提供一种由直流高压电源经脉冲调制器与真空室内注入工件相连；Ｎ根灯丝与灯丝电源相连，灯丝与真空室壁间加一放电偏压源，工作气体源经进气口与真空室相通；金属内电极沿样品内部轴线安置，并与真空室壁连接组成的等离子体处理装置。本实用新型可有效地对工业上各类具有轴对称内形零件内表面进行改性处理，操作简单，注入效率高。
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