金属表面复杂三维微结构的加工方法及其装置

[TiMing]：JinShuBiaoMianFuZaSanWeiWeiJieGouDeJiaGongFangFaJiQiZhuangZhi

[申请号]：03101271[公开号]：1425805

[公告号]：0000000[申请日期]：20030117

[公开日期]：20030625[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：B81B1/00;C25F3/02

[申请人]：厦门大学

[ShenQingRen]：XiaMenDaXue

[国家省市]：福建(35)

[地址]：福建省厦门市思明南路422号

[DiZhi]：FuJianShengXiaMenShiSiMingNanLu422Hao

[邮编]：361005

[发明人]：田昭武;蒋利民;刘桂方;田中群  [FaMingRen]：TianZhaoWu、JiangLiMin、LiuGuiFang、TianZhongQun

[代理人]：马应森  [DaiLiRen]：MaYingSen

[代理机构]：厦门大学专利事务所(35200)[代理地址]：福建省厦门市厦门大学内(361005)

[审批历史]：

[页数]：12[附图]：2[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
    金属表面复杂三维微结构的加工方法，其特征在于加工工艺步骤为：    １）．将带有微结构的加工工具固定于固定架上；    ２）．将刻蚀溶液注入容器；    ３）移动固定架，使加工工具进入刻蚀溶液；    ４）．启动电

[权利要求数]：12

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 涉及采用约束刻蚀剂层技术在金属表面进行复杂三维微结构的加工。步骤为将带有微结构的加工工具固定于固定架上；刻蚀溶液注入容器；加工工具进入溶液；启动电化学系统，在加工工具表面产生刻蚀剂；利用清除剂将刻蚀剂层压缩到纳米级或微米级厚度；启动驱动装置，对工件刻蚀，使工件表面凹陷脱离刻蚀剂层，至刻蚀完毕。加工装置设加工工具、固定架、驱动装置、计算机、电化学系统。可进行各种复杂三维微结构的批量复制加工；一步完成批量微结构的刻蚀，省去光刻中的涂胶、曝光、显影和去胶，降低成本，提高了加工精度和表面平整度；加工过程具有距离敏感性，可通过精确控制模板的进给距离精确控制加工量。

[相关文献]：更多相似文献

[下一条]：软起动器