[TiMing]：WeiXingLengYinJiJianSheLiZiBengWeiXingLengYinJiJianSheLiZiBeng
[申请号]：93237058[公开号]：00000000
[公告号]：2165528[申请日期]：19930618
[公开日期]：00000000[公告日期]：19940518
[授权日期]：19940408
[专利类型]：实用新型
[国际类型]：H01J41/18
[申请人]：南京理工大学
[ShenQingRen]：NanJingLiGongDaXue
[国家省市]：江苏(32)
[地址]：江苏省南京市孝陵卫200号
[DiZhi]：JiangSuShengNanJingShiXiaoLingWei200Hao
[邮编]：210014
[发明人]：周旭辉;于广陵;刘士杰;刘玉凤 [FaMingRen]：ZhouXuHui、YuGuangLing、LiuShiJie、LiuYuFeng
[代理人]：张骏鸣 [DaiLiRen]：ZhangJunMing
[代理机构]：南京理工大学专利事务所(32203)[代理地址]：江苏省南京市孝陵卫200号(210014)
[审批历史]： 1998年8月5日因费用终止日
[页数]：4[附图]：1[优先权]：[PCT]：[范畴]：38D[权利要求]：
一种微型冷阴极溅射离子泵，它包括泵体［２］、排气管［１］、瓷环［４］、引线［５］和磁钢［３］等，在泵体［２］内有阳极筒［６］，泵体［２］上、下端面设有阴极板［８］，排气管［１］焊接于泵体［２］的一个
[权利要求数]：2
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本实用新型公开了一种微型冷阴极溅射离子泵，其特征是它采用了多个阳极子筒并联在一个大阳极筒内的新型阳极结构，使阳极构成巢状具有多个单元泵的抽真空和排气功能。该微型泵解决了现有技术中抽速小、结构不紧凑不合理的缺点，并有效地改善了泵在低真空度下的抽气性能。充分利用了泵体内的有效空间，在保证抽速加大情况下，体积增加甚微，可广泛用于光电器件的阴极制造上，也可作为附件用于其它电子真空器件上。
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