冷阴极弧光离子镀台阶型靶LengYinJiHuGuangLiZiDuTaiJieXingBa

[题名]：冷阴极弧光离子镀台阶型靶LengYinJiHuGuangLiZiDuTaiJieXingBa

[TiMing]：LengYinJiHuGuangLiZiDuTaiJieXingBaLengYinJiHuGuangLiZiDuTaiJieXingBa

[申请号]：91217203[公开号]：00000000

[公告号]：2104222[申请日期]：19910704

[公开日期]：00000000[公告日期]：19920513

[授权日期]：19920902

[专利类型]：实用新型

[国际类型]：C23C14/34

[申请人]：北京钢铁学院分院、航空航天工业部第五研究院第五一一研究所

[ShenQingRen]：BeiJingGangTieXueYuanFenYuan、HangKongHangTianGongYeBuDiWuYanJiuYuanDiWuYiYiYanJiuSuo

[国家省市]：北京(11)

[地址]：北京市石景山区西黄村

[DiZhi]：BeiJingShiShiJingShanQuXiHuangCun

[邮编]：100041

[发明人]：杨光耀;王仁;吴北新;王福柱 [FaMingRen]：YangGuangYao、WangRen、WuBeiXin、WangFuZhu

[代理人]：王兰凤 [DaiLiRen]：WangLanFeng

[代理机构]：航空航天工业部航天专利事务所(11009)[代理地址]：北京市和平里滨河路1号(100013)

[审批历史]： 1997年2月26日届满日

[页数]：2[附图]：1[优先权]：[PCT]：[范畴]：25F23D22G[权利要求]：
一种金属材料镀覆设备的冷阴极弧光离子镀台阶型靶，形状为圆柱形平面靶，其特征在于将圆柱形靶（１）的平面加工成沿经向、由外缘向内中心依次降低一个台阶（２），形成多个阶梯的台阶型靶。

[权利要求数]：1

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 冷阴极弧光离子镀台阶型靶属于金属镀覆设备。该靶的特点在于将圆柱形的平面靶加工成沿经向、由外缘向内中心依次降低一个台阶，形成多个阶梯的台阶靶面。使弧斑有效地限制在各级台阶，因此弧斑在整个靶面分布均匀，故可有效地减少大液滴喷射，提高了成膜质量及靶材利用率，节约了开支。

[相关文献]：更多相似文献