用于高密度等离子体制程的注射装置YongYuGaoMiDuDengLiZiTiZhiChengDeZhuSheZhuangZhi

[题名]：用于高密度等离子体制程的注射装置YongYuGaoMiDuDengLiZiTiZhiChengDeZhuSheZhuangZhi

[TiMing]：YongYuGaoMiDuDengLiZiTiZhiChengDeZhuSheZhuangZhiYongYuGaoMiDuDengLiZiTiZhiChengDeZhuSheZhuangZhi

[申请号]：200310122888[公开号]：1632909

[公告号]：0000000[申请日期]：20031225

[公开日期]：20050629[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[申请人]：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

[ShenQingRen]：ZhongXinGuoJiJiChengDianLuZhiZao(ShangHai)YouXianGongSi

[国家省市]：上海(31)

[地址]：上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号

[DiZhi]：ShangHaiShiPuDongXinQuZhangJiangGaoKeJiYuanQuZhangJiangLu18Hao

[邮编]：201203

[发明人]：陈建维;温家琳 [FaMingRen]：ChenJianWei、WenJiaLin

[代理人]：竺明;谢晋光 [DaiLiRen]：ZuoMing,XieJinGuang

[代理机构]：上海高升专利事务所(31212)[代理地址]：上海市徐汇区茶陵北路21号214室(20032)

[审批历史]：

[页数]：4[附图]：4[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：

[权利要求数]：1

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]：

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