[TiMing]：DengLiZiTiMaiChongZhuRuDeZhuangZhi
[申请号]：200410044045[公开号]：1604266
[公告号]：0000000[申请日期]：20041112
[公开日期]：20050406[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H01J37/317;H01L21/265;H01L21/3065;H05H1/00
[申请人]：哈尔滨工业大学
[ShenQingRen]：HaErBinGongYeDaXue
[国家省市]：哈尔滨(93)
[地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
[DiZhi]：HeiLongJiangShengHaErBinShiNanGangQuXiDaZhiJie92Hao
[邮编]：150001
[发明人]：田修波;黄永宪;杨士勤 [FaMingRen]：TianXiuBo、HuangYongXian、YangShiQin
[代理人]：王吉东 [DaiLiRen]：WangJiDong
[代理机构]：黑龙江省松花江专利事务所(23109)[代理地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街26号四楼(150001)
[审批历史]：
[页数]：3[附图]：1[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
等离子体脉冲注入的装置，它由真空室（１）、转动屏蔽片（２）、屏蔽筒（３）、靶台（４）、直流负偏压电源（５）、电动机（６）、等离子体发生器（７）组成；等离子体发生器（７）设置在真空室（１）的壁上；其特
[权利要求数]：1
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 等离子体脉冲注入的装置，它涉及的是等离子体注入的装置。等离子体发生器（７）设置在真空室（１）的壁上；转动屏蔽片（２）上开有通孔或缺口，转动屏蔽片（２）的转轴（２－１）下端中部与（１）下底端上的轴孔（１－１）转动连接，（２－１）下端与电动机（６）的转轴输出端相连接，（２－１）的一侧设置有屏蔽筒（３），（３）的上端口与（２）的下端面之间有气隙（δ），（３）的下端口连接在（１）的下底上，（３）的内部设置有靶台（４），电极（４－１）的中部通过绝缘套（４－２）与孔（１－２）相套接，（４－１）的底端与直流负偏压电源（５）的电源输出端相连接，工件（７）设置在靶台（４）的上端面上。本发明能把等离子体以脉冲形式注入到材料表面，并对脉冲的占空比、脉宽、频率进行调节，其设备制造成本低、结构简单、易维护。
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