[TiMing]：YiZhongMaiChongGaoNengLiangMiDuDengLiZiTiDeFaShengZhuangZhi
[申请号]：200320102779[公开号]：00000000
[公告号]：2671287[申请日期]：20031106
[公开日期]：00000000[公告日期]：20050112
[授权日期]：20050112
[专利类型]：实用新型
[国际类型]：H05H1/34
[申请人]：中国科学院物理研究所
[ShenQingRen]：ZhongGuoKeXueYuanWuLiYanJiuSuo
[国家省市]：北京(11)
[地址]：北京市海淀区中关村南三街8号
[DiZhi]：BeiJingShiHaiDianQuZhongGuanCunNanSanJie8Hao
[邮编]：100080
[发明人]：杨思泽;刘赤子;刘元富 [FaMingRen]：YangSiZe、LiuChiZi、LiuYuanFu
[代理人]：王凤华 [DaiLiRen]：WangFengHua
[代理机构]：(11280)[代理地址]：()
[审批历史]：
[页数]：3[附图]：1[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
一种脉冲高能量密度等离子体的发生装置，该装置包括：同轴等离子枪、脉冲电磁阀和ＲＬＣ充放电电路，所述的同轴等离子枪的管状外电极和柱状内电极分别通过绝缘的密封通道同轴地与脉冲电磁阀联接，所述内电极与一Ｒ
[权利要求数]：1
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本实用新型涉及一种脉冲高能量密度等离子体的发生装置，该装置包括：同轴等离子枪、脉冲电磁阀和ＲＬＣ充放电电路，所述的同轴等离子枪的管状外电极和柱状内电极分别通过绝缘的密封通道同轴地与脉冲电磁阀联接，所述内电极与一ＲＬＣ充放电电路连接，该ＲＬＣ充放电电路与脉冲控制电路连接，所述的内电极是由金属溅射材料制成的柱状电极，该内电极中还布置有水冷通道，其靠近脉冲电磁阀的端口处开有进水口和出水口，分别与进水管、出水管相连。本实用新型在同轴等离子枪的内电极中布置了水冷通道后，利用水冷处理降低金属内电极的温度，保证金属内电极不会因为温度过高而变形，因此，相应地提高了同轴等离子枪的溅射功率。
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