[TiMing]：YiZhongWeiGuangJiDianXiTongMoJiZuoHeJieGouGuangShengXingNengWuSunDingLiangCeShiFangFaJiZhuangZhi
[申请号]：02112786[公开号]：1382983
[公告号]：1189746[申请日期]：20020321
[公开日期]：20021204[公告日期]：00000000
[授权日期]：20050216
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：G01N13/00;G01N21/45;G01N29/00
[申请人]：江苏大学
[ShenQingRen]：JiangSuDaXue
[国家省市]：江苏(32)
[地址]：江苏省镇江市东郊
[DiZhi]：JiangSuShengZhenJiangShiDongJiao
[邮编]：212013
[发明人]：周明;张永康;蔡兰 [FaMingRen]：ZhouMing、ZhangYongKang、CaiLan
[代理人]：唐恒 [DaiLiRen]：TangHeng
[代理机构]：南京师范大学专利事务所(32207)[代理地址]：江苏省南京市宁海路122号(210097)
[审批历史]：
[页数]：5[附图]：3[优先权]：[PCT]：[范畴]：31E[权利要求]：
微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法，其将超快短脉冲激光传输到试样界面，激发得到微尺度界面波，通过对接收的微尺度界面波耗散特性分析，实现定量测试，其特征在于所述的超快短脉冲激光被外光路系
[权利要求数]：1
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明涉及激光技术和纳米技术测量领域，特指一种微光机电系统膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法及装置。其适用于具有界面结合的各类微纳米薄膜、器件与宏观、介观或微观材料相耦合系统，如宏观基体上附着的分子自组装膜、双层分子自组装膜等的光声性能无损定量测试。其将超快短脉冲激光传输到微光机电系统中的膜基耦合试样界面，激发得到微尺度界面波，通过对接收的微尺度界面波耗散特性分析，通过测定界面波耗散特征量定量表征界面粘附质量，实现针对不同的微纳耦合体系定量研究其尺度效应对界面波耗散特性的影响，考察膜基体系厚度方向尺度效应对弹性参数和界面粘附质量的作用规律，从而实现面向微光机电系统的膜基弹性参数和界面耦合质量无损、非接触、定量测试。
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[下一条]：一种微尺度界面波激发方法及装置
