[TiMing]：DengLiZiShiKeJiDengLiZiShiKeJi
[申请号]：200410073733[公开号]：1591792
[公告号]：0000000[申请日期]：20040902
[公开日期]：20050309[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H01L21/3065
[申请人]：三星电子株式会社
[ShenQingRen]：SanXingDianZiZhuShiHuiShe
[国家省市]：韩国(KR)
[地址]：韩国京畿道
[DiZhi]：HanGuoJingZuoDao
[邮编]：
[发明人]：崔熙焕;姜聖哲;金湘甲 [FaMingRen]：CuiXiHuan、JiangLongZhe、JinXiangJia
[代理人]：余刚;彭焱 [DaiLiRen]：YuGang,PengZuo
[代理机构]：北京康信知识产权代理有限责任公司(11240)[代理地址]：北京市西城区金融大街33号通泰大厦B402室(100032)
[审批历史]：
[页数]：5[附图]：2[优先权]： 韩国2003年9月5日10-2003-0062204[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
一种等离子蚀刻机，包括： 箱体； 上部等离子电极和下部等离子电极，设置在所述箱体的上部和下部； 气体注入管，与所述箱体连接； 多个扩散板，设置在所述上部等离子电极和所述气体注
[权利要求数]：1
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明提供了一种等离子蚀刻机，包括：箱体；上部等离子电极和下部等离子电极，设置在箱体的上部和下部；气体注入管，与箱体连接；多个扩散板，设置在上部等离子电极和气体注入管之间；电力发生器，向上部等离子电极和下部等离子电极施加电压，其中在上部等离子电极上形成多个喷射孔，在多个扩散板上形成多个辅助喷射孔。
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