[TiMing]：GuanTongZhuangGongJianNeiBiDengLiZiTiZhuRuZhuangZhiGuanTongZhuangGongJianNeiBiDengLiZiTiZhuRuZhuangZhi
[申请号]：02275573[公开号]：00000000
[公告号]：2577437[申请日期]：20020930
[公开日期]：00000000[公告日期]：20031001
[授权日期]：20031001
[专利类型]：实用新型
[国际类型]：C23C8/36;C23C14/48;H01J37/317
[申请人]：哈尔滨工业大学
[ShenQingRen]：HaErBinGongYeDaXue
[国家省市]：哈尔滨(93)
[地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
[DiZhi]：HeiLongJiangShengHaErBinShiNanGangQuXiDaZhiJie92Hao
[邮编]：150001
[发明人]：田修波;杨士勤 [FaMingRen]：TianXiuBo、YangShiQin
[代理人]：岳泉清 [DaiLiRen]：YueQuanQing
[代理机构]：黑龙江省松花江专利事务所(23109)[代理地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街26号四楼(150001)
[审批历史]：
[页数]：6[附图]：2[优先权]：[PCT]：[范畴]：38D39D[权利要求]：
一种管筒状工件内壁等离子体注入装置，它包括真空室（１）、中心电极（２），其特征在于中心电极（２）轴向穿过管筒状工件（３）的内腔并与电源（６）的正极连接，管筒状工件（３）与高压电源（６）的负电极相连，
[权利要求数]：5
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 管筒状工件内壁等离子体注入装置，它涉及一种管筒状工件内壁的表面强化装置。由于管筒状工件特定的空间几何尺寸决定离子注入强化方法的应用受到了限制，由于离子注入中离子行走轨迹的直线性（视线性），使得长管内壁注入几乎不可能。本实用新型包括真空室（１）、中心电极（２），中心电极（２）轴向穿过管筒状工件（３）的内腔并与电源（６）的正极连接，管筒状工件（３）与高压电源（６）的负电极相连，在管筒状工件（３）的腔体内所述中心电极（２）的外部套有磁体（４），所述管筒状工件（３）设置在真空室（１）内。它克服了管筒内等离子体对等离子体扩散特性的依赖和管筒内部空间尺寸的限制，提高了气体的离化率，注入效率大大提高。
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