等离子体装置及等离子体生成方法DengLiZiTiZhuangZhiJiDengLiZiTiShengChengFangFa

[TiMing]：DengLiZiTiZhuangZhiJiDengLiZiTiShengChengFangFaDengLiZiTiZhuangZhiJiDengLiZiTiShengChengFangFa

[申请号]：02803904[公开号]：1537406

[公告号]：0000000[申请日期]：20020118

[公开日期]：20041013[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：C23C16/505;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/46

[申请人]：东京毅力科创株式会社、安藤真、高桥応明

[ShenQingRen]：DongJingYiLiKeChuangZhuShiHuiShe、AnTengZhen、GaoQiaoMing

[国家省市]：日本(JP)

[地址]：日本东京都

[DiZhi]：RiBenDongJingDu

[邮编]：

[发明人]：安藤真;高桥応明;石井信雄  [FaMingRen]：AnTengZhen、GaoQiaoMing、ShiJingXinXiong

[代理人]：陆锦华  [DaiLiRen]：LuJinHua

[代理机构]：(11258)[代理地址]：()

[审批历史]：

[页数]：25[附图]：16[优先权]：    日本2001年1月18日10291/01[PCT]：    [范畴]：[权利要求]：
    一种等离子体装置，具有将通过馈电部供给的高频电磁场供给到处理容器内的缝隙天线，　　　　其特征在于，　　　　所述馈电部具有谐振腔，所述谐振腔构成谐振器，同时，将馈电的高频电磁场变换成旋转电磁场并供给所

[权利要求数]：0

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种等离子体装置，包括将通过馈电部供给的高频电磁场（Ｆ）供给到处理容器（１１）内的缝隙天线（３０），所述馈电部具有谐振腔（３５），所述谐振腔构成谐振器，同时将馈电的高频电磁场（Ｆ）变换成旋转电磁场并供给所述缝隙天线（３０）。

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[下一条]：汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法