[TiMing]：DengLiZiTiZhuangZhiDengLiZiTiZhuangZhi
[申请号]：02816213[公开号]：1543671
[公告号]：0000000[申请日期]：20020308
[公开日期]：20041103[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H01L21/3065
[申请人]：东京毅力科创株式会社
[ShenQingRen]：DongJingYiLiKeChuangZhuShiHuiShe
[国家省市]：日本(JP)
[地址]：日本东京都
[DiZhi]：RiBenDongJingDu
[邮编]：
[发明人]：石井信雄 [FaMingRen]：ShiJingXinXiong
[代理人]：龙淳 [DaiLiRen]：LongChun
[代理机构]：北京纪凯知识产权代理有限公司(11245)[代理地址]：北京市西城区宣武门西大街甲129号金隅大厦602室(100031)
[审批历史]：
[页数]：35[附图]：31[优先权]：[PCT]： [范畴]：[权利要求]：
一种等离子体装置，设置有载置配置于气密的处理容器（１１）内的被处理体（２１）的载置台（２２），和向与该载置台对置配置的所述处理容器内供给高频波的天线（１０３０），其特征在于， 所述天线具有构成
[权利要求数]：0
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明提供一种等离子体装置，在处理容器（１１）内设置有发射高频波的平板型天线（１０３０）。平板型天线（１０３０）具有构成谐振器的导体板（１０３２）和地板（１０３１）。对平板型天线（１０３０）的导体板（１０３２）供电使被发射的高频波成为圆极化波。
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