[TiMing]：JingPianZhiZuoQingXieJiGouHeLengQueXiTongJingPianZhiZuoQingXieJiGouHeLengQueXiTong
[申请号]：02821195[公开号]：1575504
[公告号]：0000000[申请日期]：20021025
[公开日期]：20050202[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H01J37/317
[申请人]：艾克塞利斯技术公司
[ShenQingRen]：AiKeSaiLiSiJiShuGongSi
[国家省市]：美国(US)
[地址]：美国马萨诸塞州
[DiZhi]：MeiGuoMaSaZhuSaiZhou
[邮编]：
[发明人]：A·维德;R·费斯 [FaMingRen]：A·WeiDe、R·FeiSi
[代理人]：苏娟 [DaiLiRen]：SuJuan
[代理机构]：中国专利代理(香港)有限公司(72001)[代理地址]：香港湾仔港湾道23号鹰君中心22字楼()
[审批历史]：
[页数]：7[附图]：7[优先权]： 美国2001年10月25日10/054,325[PCT]： [范畴]：[权利要求]：
一种晶片平台，它被安装在离子植入装置内，并且包括至少一个用于安装和冷却晶片的晶片垫组件，所述晶片垫组件包括： 一个晶片支撑垫，它具有一个用于安装所述晶片的上表面，和一个下表面，所述晶片支撑垫的
[权利要求数]：2
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明提供了一种晶片垫组件，可将其用在离子植入装置中，用于安装和冷却晶片。所述晶片垫组件包括一个晶片支撑垫，它具有一个用于安装晶片的上表面，和一个下表面。所述晶片支撑垫的下表面与一个冷却剂通道连接，该通道具有相对安装的入口部分和出口部分，其中，所述入口部分是通过所述出口部分平衡的，其下表面与一个支架连接，该支架具有弧形外表面，以便与一个壳体的具有互补形状的支撑表面配合接合，其中，所述晶片可以绕一个轴线倾斜或转动。
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[下一条]：电化学半电池
