[TiMing]：GongJianGouTuFangFaHeZhuangZhiGongJianGouTuFangFaHeZhuangZhi
[申请号]：02825034[公开号]：1605046
[公告号]：0000000[申请日期]：20021211
[公开日期]：20050406[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：G03F7/20
[申请人]：麦克罗尼克激光系统公司
[ShenQingRen]：MaiKeLuoNiKeJiGuangXiTongGongSi
[国家省市]：瑞典(SE)
[地址]：瑞典泰比
[DiZhi]：RuiDianTaiBi
[邮编]：
[发明人]：托比约恩·桑德斯特罗姆 [FaMingRen]：TuoBiYueEn·SangDeSiTeLuoMu
[代理人]：张平元;赵仁临 [DaiLiRen]：ZhangPingYuan,ZhaoRenLin
[代理机构]：柳沈知识产权律师事务所(11105)[代理地址]：北京市朝阳区北辰东路8号汇宾大厦A0601(100101)
[审批历史]：
[页数]：19[附图]：34[优先权]： 瑞典2001年12月14日0104238-1[PCT]： [范畴]：[权利要求]：
一种用改进的虚拟网格在对电磁辐射敏感的工件上构图的方法，包括动作： －发射电磁辐射到具有多个调制元素（像素）的计算机控制的分划板上， －根据一个数字描述设置所述计算机控制的分划板上的这些
[权利要求数]：5
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明涉及一种在对电磁辐射敏感工件上构图的方法。电磁辐射被辐射到具有多个调制元素（像素）的计算机控制的分划板上。这些像素根据数字描述设置在所述计算机控制的分划板上。在所述工件上产生所述计算机控制的分划板的图像，其中在计算机控制的分划板上的所述像素是沿至少一个特征边缘像素的一部分呈交替状态地设置以便产生较小的地址网格。本发明还涉及到在工件上构图的装置。本发明还涉及到半导体晶片和掩膜。
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[下一条]：频率选择性瞬态电压保护器
