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微波等离子体源WeiBoDengLiZiTiYuan

[题名]:微波等离子体源WeiBoDengLiZiTiYuan

[TiMing]:WeiBoDengLiZiTiYuanWeiBoDengLiZiTiYuan

[申请号]:02828004[公开号]:1618260

[公告号]:0000000[申请日期]:20020823

[公开日期]:20050518[公告日期]:00000000

[授权日期]:00000000

[专利类型]:发明专利

[国际类型]:H05H1/30;H05H1/46;G01N21/73

[申请人]:美国瓦里安澳大利亚有限公司

[ShenQingRen]:MeiGuoWaLiAnAoDaLiYaYouXianGongSi

[国家省市]:澳大利亚(AU)

[地址]:澳大利亚维多利亚

[DiZhi]:AoDaLiYaWeiDuoLiYa

[邮编]:

[发明人]:M·R·哈米尔  [FaMingRen]:M·R·HaMiEr

[代理人]:李家麟  [DaiLiRen]:LiJiaZuo

[代理机构]:上海专利商标事务所(31100)[代理地址]:上海市桂平路435号(200233)

[审批历史]:

[页数]:8[附图]:3[优先权]:    澳大利亚2002年2月11日PS0442[PCT]:    [范畴]:[权利要求]:
    

[权利要求数]:2

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 一种用于光谱仪的等离子体源包括等离子体焰炬(10),它被放置在波导管或谐振腔(40)内,微波电磁场的电场分量和磁场分量两者由于激发等离子体(54)。这产生了等离子体(54),它通常具有椭圆剖面,样品被相对方便地注入其中但它仍旧提供等离子体与样品之间的良好热耦合。与现有技术的微波诱导等离子体系统相比,本发明提供显著改进的检测限制。较佳地,将焰炬与磁场分量的方向轴向对准且焰炬可以被放置在波导管或腔(40)内的谐振隔膜(32)内。

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