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图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法TuXingDeXingChengFangFa、TuXingXingChengZhuangZhiYiJiQiJianDeZhiZaoFangFa

[题名]:图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法TuXingDeXingChengFangFa、TuXingXingChengZhuangZhiYiJiQiJianDeZhiZaoFangFa

[TiMing]:TuXingDeXingChengFangFa、TuXingXingChengZhuangZhiYiJiQiJianDeZhiZaoFangFaTuXingDeXingChengFangFa、TuXingXingChengZhuangZhiYiJiQiJianDeZhiZaoFangFa

[申请号]:200410007836[公开号]:1538799

[公告号]:0000000[申请日期]:20040304

[公开日期]:20041020[公告日期]:00000000

[授权日期]:00000000

[专利类型]:发明专利

[国际类型]:H05K3/14

[申请人]:精工爱普生株式会社

[ShenQingRen]:JingGongAiPuShengZhuShiHuiShe

[国家省市]:日本(JP)

[地址]:日本东京

[DiZhi]:RiBenDongJing

[邮编]:

[发明人]:平井利充;长谷井宏宣  [FaMingRen]:PingJingLiChong、ChangGuJingHongXuan

[代理人]:李香兰  [DaiLiRen]:LiXiangLan

[代理机构]:中科专利商标代理有限责任公司(11021)[代理地址]:北京市海淀区海淀路80号中科大厦16层(100080)

[审批历史]:

[页数]:23[附图]:17[优先权]:    日本2003年3月11日2003-065324    日本2004年2月6日2004-031049[PCT]:[范畴]:[权利要求]:
    一种图形形成方法,通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形,其特征在于,    在所述基板上排列设定多个形成所述膜图形的图形形成区域,在所述多个图形形成区域中,设定从所述膜图形的侧部形成的第1图形

[权利要求数]:3

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 一种图形形成方法,通过在基板(11)上配置液体材料的液滴来形成线性膜图形(W1)、(W2),在基板(11)上排列设定多个形成膜图形的图形形成区域(R1)、(R2),在多个图形形成区域(R1)、(R2)中,设定从膜图形的线宽方向侧部形成的第1图形形成区域(R1)、和从膜图形的线宽方向中央部形成的第2图形形成区域(R2),在第1、第2图形形成区域(R1)、(R2)中分别配置液滴,形成膜图形(W1)、(W2)。根据本发明的图形形成方法,在从多个排列的喷出喷嘴中分别喷出液滴来形成膜图形时,即使膜图形间距在设计值上进行各种变更也可高效形成膜图形。

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