图案形成方法TuAnXingChengFangFa

[TiMing]：TuAnXingChengFangFaTuAnXingChengFangFa

[申请号]：200410007839[公开号]：1574220

[公告号]：0000000[申请日期]：20040304

[公开日期]：20050202[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：G03F7/00;H01L21/027;H01L21/30

[申请人]：松下电器产业株式会社

[ShenQingRen]：SongXiaDianQiChanYeZhuShiHuiShe

[国家省市]：日本(JP)

[地址]：日本大阪府

[DiZhi]：RiBenDaZuoFu

[邮编]：

[发明人]：远藤政孝;笹子胜  [FaMingRen]：YuanTengZhengXiao、GengZiSheng

[代理人]：汪惠民  [DaiLiRen]：WangHuiMin

[代理机构]：中科专利商标代理有限责任公司(11021)[代理地址]：北京市海淀区海淀路80号中科大厦16层(100080)

[审批历史]：

[页数]：15[附图]：9[优先权]：    日本2003年6月12日2003-168239[PCT]：[范畴]：[权利要求]：    一种图案形成方法，其特征在于具备：形成含有基?br> 【酆衔铩⒄丈涔庀吆竽懿岬乃岱⑸痢⒑途哂幸跣约缘奈镏实幕г龇涂故茨さ墓ば颍辉谙蛩隹故茨ぬ峁┙杖芤旱淖刺拢运隹故茨ぱ≡裥缘卣丈淦毓夤舛?br>

[权利要求数]：1

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种图案形成方法，在形成由含基?br> 【酆衔铩⒄丈涔庀吆竽懿岬乃岱⑸痢⒑湍邗サ幕г龇涂故床牧瞎钩傻目故茨ぃǎ保埃玻┖螅谙蚩故茨ぃǎ保埃玻┨峁┍哐繁咴菔北淮⒋嬖谌芤捍⒈覆恐械乃ǎ保埃常┑淖刺拢蚩故茨ぃǎ保埃玻┭≡裥缘卣丈淦毓夤猓ǎ保埃矗越型及钙毓狻６砸呀型及钙毓獾目故茨ぃǎ保埃玻┦凳┖蠛姹褐螅眉钚韵杂耙航邢杂埃涂梢缘玫接煽故茨ぃǎ保埃玻┑奈雌毓獠浚ǎ保埃玻猓┕钩傻木哂辛己眯巫吹目故赐及福ǎ保埃担８荼痉⒚鳎梢愿纳仆ü展饪谭ǖ玫降目故赐及傅男巫础?br>

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