[TiMing]:ZuoZuoSuanQianTaoCiDeGongNengTiDuBaoMoDeZhiBeiFangFaZuoZuoSuanQianTaoCiDeGongNengTiDuBaoMoDeZhiBeiFangFa
[申请号]:01126759[公开号]:1342783
[公告号]:0000000[申请日期]:20010914
[公开日期]:20020403[公告日期]:00000000
[授权日期]:00000000
[专利类型]:发明专利
[国际类型]:C04B35/462;C04B35/491;C04B35/624;C23C20/08;H01L37/00
[申请人]:中国科学院上海硅酸盐研究所
[ShenQingRen]:ZhongGuoKeXueYuanShangHaiGuiSuanYanYanJiuSuo
[国家省市]:上海(31)
[地址]:上海市定西路1295号
[DiZhi]:ShangHaiShiDingXiLu1295Hao
[邮编]:200050
[发明人]:唐新桂;丁爱丽;叶扬;仇萍荪;殷庆瑞 [FaMingRen]:TangXinGui、DingAiLi、YeYang、ChouPingZuo、YinQingRui
[代理人]:潘振甦 [DaiLiRen]:PanZhen
[代理机构]:上海华东专利事务所(31002)[代理地址]:上海市岳阳路319号(200031)
[审批历史]:
[页数]:5[附图]:1[优先权]:[PCT]:[范畴]:25F38B[权利要求]:
一种制备锆钛酸铅功能梯度薄膜的方法,包括前驱液的配制、成膜工艺的选择,其特征在于: (1)以含三个结晶水的醋酸铅、丙醇锆、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂;先把醋酸铅充分溶解于乙二醇甲醚中,按P
[权利要求数]:6
[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]: 本发明涉及一种锆钛酸铅功能梯度薄膜的制备方法,属于功能薄膜领域。其特征在于前驱液以三水合醋酸铅、异丙醇锆(硝酸锆或醋酸锆)、钛酸丁酯为原料,以乙二醇甲醚为溶剂,按Pb(Zr↓[1-x]Ti↓[x])O↓[3](0≤x≤1)为配比,X间距为0.05至0.10,配制成PZT(x)前驱体溶液,制备以Zr/Ti成分为梯度分布的PZT功能梯度薄膜。梯度层数可以是3层或多层。可以是以PbZrO↓[3]为基础通过改变Zr/Ti成分梯度,也可以PbTiO↓[3]改变Zr/Ti成分梯度,或偏离PbZrO↓[3]和PbTiO↓[3]的PZT为基础,通过改变Zr/Ti成分的梯度。此种功能梯度铁电薄膜,比纯的PZT薄膜致密,具有良好的铁电、介电和热释电特性。是制备非制冷红外传感器的理想功能梯度材料之一。
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[下一条]:无铅锆钛酸钡功能陶瓷薄膜的湿化学法制备技术
