[TiMing]：LiZiZhuRuJiZhongDeBaPanChuiZhiSaoMiaoYunDongJiGouLiZiZhuRuJiZhongDeBaPanChuiZhiSaoMiaoYunDongJiGou
[申请号]：200410008464[公开号]：1560897
[公告号]：0000000[申请日期]：20040312
[公开日期]：20050105[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H01J37/317;H01L21/265
[申请人]：清华大学
[ShenQingRen]：QingHuaDaXue
[国家省市]：北京(11)
[地址]：北京市100084-82信箱
[DiZhi]：BeiJingShi100084-82XinXiang
[邮编]：100084
[发明人]：汪劲松;朱煜;陈涛;尹文生;段广洪;于晖 [FaMingRen]：WangJinSong、ZhuZuo、ChenTao、YinWenSheng、DuanGuangHong、YuZuo
[代理人]： [DaiLiRen]：
[代理机构]：()[代理地址]：()
[审批历史]：
[页数]：3[附图]：3[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，其特征在于：该运动机构是采用伸缩腿双支链结构的２自由度平面并联机构，包括靶盘、伸缩腿第一支链和伸缩腿第二支链，所述靶盘上安装有接受离子注入的硅片；所述伸缩腿第一支
[权利要求数]：1
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。现有靶盘扫描运动机构采取了串联运动机构，为了解决这种机构刚度低、传动系统复杂、积累误差大的问题，本发明公开了一种采用伸缩腿双支链结构的２自由度平面并联机构，包括靶盘、伸缩腿第一支链和伸缩腿第二支链，靶盘上安装有接受离子注入的硅片。伸缩腿第一支链的一端通过转动铰与离子注入机注入腔室的第一安装点连接，另一端通过转动铰与靶盘的一点连接；伸缩腿第二支链的一端刚性固定在离子注入机注入腔室的第二安装点上，另一端通过转动铰与靶盘的另一点连接。本发明所述机构与现有机构相比，结构简单，刚度大，传动链极短，精度高，驱动电机可布置在腔室外，避免了磁场干扰。
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