[TiMing]：CeShiFenLeiJiDeWenDuJianKongXiTongCeShiFenLeiJiDeWenDuJianKongXiTong
[申请号]：200410008772[公开号]：1534754
[公告号]：0000000[申请日期]：20040318
[公开日期]：20041006[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：G01K7/00;G01R31/26;G01R31/28;G05D23/19;H01L21/66
[申请人]：先进自动器材有限公司
[ShenQingRen]：XianJinZiDongQiCaiYouXianGongSi
[国家省市]：香港(HK)
[地址]：香港新界葵涌工业街16-22号屈臣氏中心20楼
[DiZhi]：XiangGangXinJieKuiYongGongYeJie16-22HaoQuChenShiZhongXin20Lou
[邮编]：
[发明人]：徐靖民;汪世杰;叶胜楷 [FaMingRen]：XuJingMin、WangShiJie、YeShengKai
[代理人]：周春发 [DaiLiRen]：ZhouChunFa
[代理机构]：北京申翔知识产权服务公司专利代理部(11214)[代理地址]：北京市海淀区蓟门小区东里(二居)13号楼1门201室(100088)
[审批历史]：
[页数]：7[附图]：5[优先权]： 美国2003年3月21日10/395,401[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
一种用于测试分类机的温度监控系统，其包含有： 预加工台，其用于使测试器件达到一预定温度； 测试平台，其用于以该预定温度测试该测试器件；以及 一个或一个以上的辐射传感器，其用于通过测
[权利要求数]：3
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明提供了一种用于半导体测试分类机的温度监控系统。预加工台用于使测试器件达到一预定温度，以便于在测试平台以所述的预定温度进行测试。一个或一个以上的辐射传感器，例如热电堆器件，其应用于该测试分类机中，通过测量发自该测试器件的辐射来检测该测试器件的表面温度。
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