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一种适应不同样品的镀膜机工件架YiZhongShiYingBuTongYangPinDeDuMoJiGongJianJia

[题名]:一种适应不同样品的镀膜机工件架YiZhongShiYingBuTongYangPinDeDuMoJiGongJianJia

[TiMing]:YiZhongShiYingBuTongYangPinDeDuMoJiGongJianJiaYiZhongShiYingBuTongYangPinDeDuMoJiGongJianJia

[申请号]:200420030026[公开号]:00000000

[公告号]:2679166[申请日期]:20040107

[公开日期]:00000000[公告日期]:20050216

[授权日期]:20050216

[专利类型]:实用新型

[国际类型]:C23C14/50

[申请人]:中国科学院沈阳科学仪器研制中心

[ShenQingRen]:ZhongGuoKeXueYuanShenYangKeXueYiQiYanZhiZhongXin

[国家省市]:沈阳(89)

[地址]:辽宁省沈阳市和平区三好街96号

[DiZhi]:LiaoNingShengShenYangShiHePingQuSanHaoJie96Hao

[邮编]:110004

[发明人]:李向新  [FaMingRen]:LiXiangXin

[代理人]:许宗富;周秀梅  [DaiLiRen]:XuZongFu,ZhouXiuMei

[代理机构]:中国科学院沈阳专利事务所(21002)[代理地址]:辽宁省沈阳市三好街一段二号(110003)

[审批历史]:

[页数]:2[附图]:2[优先权]:[PCT]:[范畴]:[权利要求]:
    一种适应不同样品的镀膜机工件架,样品工件架安装在真空室(9)中,其特征在于包括:公转磁力转轴(4)、工件架升降机构(5)、自转磁力转轴(6)、工件架升降平台(7),其中带有样品的样品工件架(2)插装

[权利要求数]:1

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 本实用新型涉及镀膜技术,具体地说是一种适应不同样品的镀膜机工件架。包括:公转磁力转轴、工件架升降机构、自转磁力转轴、工件架升降平台,其中带有样品的样品工件架插装键连在工件架升降平台的中轴支架上,由电动机驱动的自转磁力转轴穿过工件架升降平台通过自转齿轮与平面样品工件架安装在一起,所述工件架升降机构由电动机驱动,通过支架杆依次经螺纹连接的轴套、波纹管、导向器接至工件架升降平台底部。本实用新型工件架采用双轴两侧引入,平面样品和柱面样品工件架可快速更换,适应范围广。

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