加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机JiaYouShePinDengLiZiTiJuHeDeZhengFaDuMoJi

[TiMing]：JiaYouShePinDengLiZiTiJuHeDeZhengFaDuMoJiJiaYouShePinDengLiZiTiJuHeDeZhengFaDuMoJi

[申请号]：200420032576[公开号]：00000000

[公告号]：2675685[申请日期]：20040116

[公开日期]：00000000[公告日期]：20050202

[授权日期]：20050202

[专利类型]：实用新型

[国际类型]：C23C14/24

[申请人]：常鸿

[ShenQingRen]：ChangHong

[国家省市]：四川(51)

[地址]：四川省乐山15信箱

[DiZhi]：SiChuanShengLeShan15XinXiang

[邮编]：614007

[发明人]：常鸿;常飞;常江;陈佳  [FaMingRen]：ChangHong、ChangFei、ChangJiang、ChenJia

[代理人]：黄幼陵  [DaiLiRen]：HuangYouLing

[代理机构]：成都科技大学专利代理事务所(51202)[代理地址]：四川省成都市磨子桥(610065)

[审批历史]：

[页数]：3[附图]：4[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
    一种加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机，由真空室和抽气系统构成，真空室包括室体（１１）、室体上设置的室门（１０）、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源（５）、与蒸发源两电极连接的蒸发电源（２）、位于室体

[权利要求数]：1

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机，由真空室（镀膜室）和抽气系统构成。真空室（镀膜室）包括室体、室门、位于室体内并固定在室体上盖的蒸发源、与蒸发源两电极连接的电源、位于室体内并与转动机构连接的工作架、室体内对称地设置的两个射频（ＲＦ）靶，射频靶通过与其配套的安装在室体壁上的用于冷却的出水管和进水管固定，出水管兼作射频靶的电极，与射频电源连接。此种镀膜机既能对汽车、摩托车灯具镀铝膜，又能对汽车、摩托车灯具镀等离子体聚合保护膜，有利于简化覆膜工艺，使生产规模化，稳定产品质量，所镀保护膜的产品具有防酸碱、防盐雾、防潮的性能。

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