离子注入机中的靶盘角度控制与扫描运动机构LiZiZhuRuJiZhongDeBaPanJiaoDuKongZhiYuSaoMiaoYunDongJiGou

[题名]：离子注入机中的靶盘角度控制与扫描运动机构LiZiZhuRuJiZhongDeBaPanJiaoDuKongZhiYuSaoMiaoYunDongJiGou

[TiMing]：LiZiZhuRuJiZhongDeBaPanJiaoDuKongZhiYuSaoMiaoYunDongJiGouLiZiZhuRuJiZhongDeBaPanJiaoDuKongZhiYuSaoMiaoYunDongJiGou

[申请号]：200410009225[公开号]：1595599

[公告号]：0000000[申请日期]：20040618

[公开日期]：20050316[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：H01J37/317;H01L21/265

[申请人]：清华大学

[ShenQingRen]：QingHuaDaXue

[国家省市]：北京(11)

[地址]：北京市100084-82信箱

[DiZhi]：BeiJingShi100084-82XinXiang

[邮编]：100084

[发明人]：汪劲松;朱煜;于晖;曹家勇;尹文生;段广洪;陈涛 [FaMingRen]：WangJinSong、ZhuZuo、YuZuo、CaoJiaYong、YinWenSheng、DuanGuangHong、ChenTao

[代理人]： [DaiLiRen]：

[代理机构]：()[代理地址]：()

[审批历史]：

[页数]：4[附图]：2[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，其特征在于：所述角度控制与扫描运动机构为ＰＲ－ＰＲＲ型双支链２自由度平面并联机构，包括靶盘、第一支链和第二支链；　　　　所述第一支链属于ＰＲ型支链形式，包

[权利要求数]：1

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。本发明提供了一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，其特征在于：所述角度控制与扫描运动机构为ＰＲ－ＰＲＲ型双支链２自由度平面并联机构，包括靶盘、第一支链和第二支链。本发明解决了现有串联型靶盘角度控制与扫描机构的刚度低、与腔室连接的底层构件负荷过大等问题，同时，有利于将靶盘扫描运动机构的驱动电动机布置于注入腔室的外部，克服了驱动电动机布置于腔室内部而带来的对注入腔室环境的不利影响。

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