在工具系统中对于嵌入式工艺控制结构的方法和装置ZaiGongJuXiTongZhongDuiYuQianRuShiGongYiKongZhiJieGouDeFangFaHeZhuangZhi

[题名]：在工具系统中对于嵌入式工艺控制结构的方法和装置ZaiGongJuXiTongZhongDuiYuQianRuShiGongYiKongZhiJieGouDeFangFaHeZhuangZhi

[TiMing]：ZaiGongJuXiTongZhongDuiYuQianRuShiGongYiKongZhiJieGouDeFangFaHeZhuangZhiZaiGongJuXiTongZhongDuiYuQianRuShiGongYiKongZhiJieGouDeFangFaHeZhuangZhi

[申请号]：01817853[公开号]：1630840

[公告号]：0000000[申请日期]：20010816

[公开日期]：20050622[公告日期]：00000000

[授权日期]：00000000

[专利类型]：发明专利

[国际类型]：G05B19/418

[申请人]：先进微装置公司

[ShenQingRen]：XianJinWeiZhuangZhiGongSi

[国家省市]：美国(US)

[地址]：美国加利福尼亚州

[DiZhi]：MeiGuoJiaLiFuNiYaZhou

[邮编]：

[发明人]：A·J·托普拉克;E·小科斯 [FaMingRen]：A·J·TuoPuLaKe、E·XiaoKeSi

[代理人]：戈泊;程伟 [DaiLiRen]：GeBo,ChengWei

[代理机构]：北京纪凯知识产权代理有限公司(11245)[代理地址]：北京市西城区宣武门西大街甲129号金隅大厦602室(100031)

[审批历史]：

[页数]：10[附图]：7[优先权]：美国2000年10月23日09/694,139[PCT]： [范畴]：[权利要求]：

[权利要求数]：0

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]：

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