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一种制备锆钛酸铅薄膜的方法YiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianBaoMoDeFangFa

[题名]:一种制备锆钛酸铅薄膜的方法YiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianBaoMoDeFangFa

[TiMing]:YiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianBaoMoDeFangFaYiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianBaoMoDeFangFa

[申请号]:00111683[公开号]:1263070

[公告号]:1092169[申请日期]:20000216

[公开日期]:20000816[公告日期]:00000000

[授权日期]:00000000

[专利类型]:发明专利

[国际类型]:C04B35/491;C04B35/624;C23C18/00

[申请人]:中国科学院上海硅酸盐研究所

[ShenQingRen]:ZhongGuoKeXueYuanShangHaiGuiSuanYanYanJiuSuo

[国家省市]:上海(31)

[地址]:上海市定西路1295号

[DiZhi]:ShangHaiShiDingXiLu1295Hao

[邮编]:200050

[发明人]:仇萍荪;丁爱丽;何夕云;罗维根  [FaMingRen]:ChouPingZuo、DingAiLi、HeXiYun、LuoWeiGen

[代理人]:潘振苏  [DaiLiRen]:PanZhenSu

[代理机构]:上海华东专利事务所(31002)[代理地址]:上海市岳阳路319号(200031)

[审批历史]:    2004年4月21日因费用终止日

[页数]:3[附图]:2[优先权]:[PCT]:[范畴]:19F38B17J[权利要求]:
    一种简便而有效的制备锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的方法,包括前驱液的配制,基片及成膜工艺的选择,其特征在于:    (1)前驱液是以含三个结晶水的醋酸铅、丙醇锆、钛酸丁酯为原料,乙二醇甲醚为溶剂;    (2

[权利要求数]:6

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 一种简便而有效的制备锆钛酸铅薄膜的方法,属于锆钛酸铅薄膜领域。前驱液以醋酸铅、丙醇锆、钛酸丁脂为原料,以乙二醇甲醚为溶剂,利用醋酸铅三个结晶水控制水解程度,按Pb∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,0.1≤X≤0.9配比,与目前采用的方法相比具有明显的优点:不需精馏,不需另加水,不加稳定剂,整个过程只需2小时;溶液存放周期长,且稳定性好,用此溶液借助甩胶法制备的PZT铁电薄膜性能良好。

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