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锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法ZuoZuoSuanQianTieDianBaoMoCaiLiaoDeZhiBeiFangFa

[题名]:锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法ZuoZuoSuanQianTieDianBaoMoCaiLiaoDeZhiBeiFangFa

[TiMing]:ZuoZuoSuanQianTieDianBaoMoCaiLiaoDeZhiBeiFangFaZuoZuoSuanQianTieDianBaoMoCaiLiaoDeZhiBeiFangFa

[申请号]:00115348[公开号]:1267654

[公告号]:0000000[申请日期]:20000406

[公开日期]:20000927[公告日期]:00000000

[授权日期]:00000000

[专利类型]:发明专利

[国际类型]:C04B35/491;C04B35/624

[申请人]:中国科学院上海技术物理研究所

[ShenQingRen]:ZhongGuoKeXueYuanShangHaiJiShuWuLiYanJiuSuo

[国家省市]:上海(31)

[地址]:上海市玉田路500号

[DiZhi]:ShangHaiShiYuTianLu500Hao

[邮编]:200083

[发明人]:褚君浩;孟祥建;孙璟兰  [FaMingRen]:ZuoJunHao、MengXiangJian、SunLan

[代理人]:郭英  [DaiLiRen]:GuoYing

[代理机构]:上海华东专利事务所(31002)[代理地址]:上海市岳阳路319号(200031)

[审批历史]:    2003年12月10日视撤日

[页数]:4[附图]:1[优先权]:[PCT]:[范畴]:20A40C38P[权利要求]:
    一种锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,其特征在于该制备方法包括以下几个步骤:    (1).前驱体溶液的配制:    溶剂为醋酸(CH↓[3]COOH),去离子水,稳定剂为氨基酸(NH↓[2]CH↓[2]CO

[权利要求数]:2

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 本发明提供了一种锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法,前驱体溶液由硝酸锆、钛酸四丁酯、醋酸铅、醋酸、去离子水和氨基酸组成。凝胶膜由匀胶机将滴到基片上的前驱体溶液甩胶形成,然后在快速退火炉中分段升温进行热处理,重复上述过程,直至得到所需厚度的薄膜材料。该薄膜材料具有良好的铁电特性,在5V偏压下的剩余极化可达10μC/cm↑[2],适用于做动态随机存储器或非挥发性存储器。

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