[TiMing]：ZuoFeiJingYangHuaWuBiaoMianCengDeZhiBeiFangFaZuoFeiJingYangHuaWuBiaoMianCengDeZhiBeiFangFa
[申请号]：00118582[公开号]：1281060
[公告号]：1147620[申请日期]：20000707
[公开日期]：20010124[公告日期]：00000000
[授权日期]：20040428
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：C23C28/00
[申请人]：江西省科学院应用物理研究所
[ShenQingRen]：JiangXiShengKeXueYuanYingYongWuLiYanJiuSuo
[国家省市]：江西(36)
[地址]：江西省南昌市上坊路108号
[DiZhi]：JiangXiShengNanChangShiShangFangLu108Hao
[邮编]：330029
[发明人]：张德元;陆德平;李放;彭文屹;曾卫军;许兰萍;张友亮 [FaMingRen]：ZhangDeYuan、LuDePing、LiFang、PengWenYi、ZengWeiJun、XuLanPing、ZhangYouLiang
[代理人]：张文 [DaiLiRen]：ZhangWen
[代理机构]：江西省专利事务所(36100)[代理地址]：江西省南昌市省府大院北二路东(330046)
[审批历史]：
[页数]：4[附图]：0[优先权]：[PCT]：[范畴]：23D24A[权利要求]：
一种钽非晶氧化物表面层或薄壁件的制备方法，其特征在于： （１）将洁净的钽件置于一真空容器中，将该真空容器抽至小于１Ｐａ的真空度； （２）给钽件加上４００－９００Ｖ的负偏压，并通入氢、氮混合气体，
[权利要求数]：0
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明公开了一种钽非晶氧化物表面层或薄壁件的制备方法，它是先将钽件在氢、氮低温等离子体中形成由钽的氮化物和氮在钽中的固溶体组成的表面层或薄壁件，再将该表面层或薄壁件在１Ａ、２Ａ族金属的硝酸熔盐中进行阳极化处理，就可得到表面粗糙度低、致密性高、硬度高、电阻率高、耐碱腐蚀性能好的氧化钽的非晶态表面层或薄壁件。本发明有机地将离子渗氮处理技术与阳极化处理技术组合在一起，可在钽喷丝头及其它场合使用。
[相关文献]：更多相似文献
[下一条]：非窑外分解水泥窑配料出磨生料含钙快速检测方法
