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一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法YiCiXingReChuLiChengMoZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFa

[题名]:一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法YiCiXingReChuLiChengMoZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFa

[TiMing]:YiCiXingReChuLiChengMoZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFaYiCiXingReChuLiChengMoZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFa

[申请号]:00119749[公开号]:1282715

[公告号]:1098232[申请日期]:20000824

[公开日期]:20010207[公告日期]:00000000

[授权日期]:00000000

[专利类型]:发明专利

[国际类型]:C04B35/622;H01B3/12;H01L41/00;H03H3/02

[申请人]:中国科学院上海硅酸盐研究所

[ShenQingRen]:ZhongGuoKeXueYuanShangHaiGuiSuanYanYanJiuSuo

[国家省市]:上海(31)

[地址]:上海市定西路1295号

[DiZhi]:ShangHaiShiDingXiLu1295Hao

[邮编]:200050

[发明人]:蒲兴华;罗维根;丁爱丽;仇萍荪;何夕云  [FaMingRen]:PuXingHua、LuoWeiGen、DingAiLi、ChouPingZuo、HeXiYun

[代理人]:潘振苏  [DaiLiRen]:PanZhenSu

[代理机构]:上海华东专利事务所(31002)[代理地址]:上海市岳阳路319号(200031)

[审批历史]:    2004年10月20日因费用终止日

[页数]:9[附图]:1[优先权]:[PCT]:[范畴]:20A38P[权利要求]:
    一种一次性热处理成膜制备锆钛酸铅厚膜的方法,包括前驱液配制,热处理过程的选择,其特征在于:    (1)前驱液是以三水醋酸铅、锆和钛的醇盐为起始原料,以醋酸和水或乙二醇甲醚、甲醇为溶剂;    (2)先把三

[权利要求数]:7

[来源]: 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]: 本发明涉及一次性热处理成膜制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法,属于锆钛酸铅系陶瓷领域。前驱液以醋酸铅、锆和钛的醇盐为原料,以醋酸和水或乙二醇甲醚、甲醇为溶剂,按Pb∶Zr∶Ti=1∶X∶1-X,0.1≤X≤0.9配比,采用一步法一次性热处理成膜技术。与传统采用的技术相比具有明显的优点;大大简化了热处理工艺过程,单层膜制备时间不到20分钟,单层膜厚度大于0.6微米。用此技术制备的PZT压电铁电厚膜性能良好。

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