[TiMing]：YiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFaYiZhongZhiBeiZuoZuoSuanQianHouMoDeFangFa
[申请号]：00125278[公开号]：1288976
[公告号]：1157498[申请日期]：20000919
[公开日期]：20010328[公告日期]：00000000
[授权日期]：20040714
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：C23C20/08;H01L41/22;H01L49/00
[申请人]：中国科学院上海硅酸盐研究所
[ShenQingRen]：ZhongGuoKeXueYuanShangHaiGuiSuanYanYanJiuSuo
[国家省市]：上海(31)
[地址]：上海市定西路1295号
[DiZhi]：ShangHaiShiDingXiLu1295Hao
[邮编]：200050
[发明人]：丁爱丽;何夕云;仇萍荪;罗维根 [FaMingRen]：DingAiLi、HeXiYun、ChouPingZuo、LuoWeiGen
[代理人]：潘振苏 [DaiLiRen]：PanZhenSu
[代理机构]：上海华东专利事务所(31002)[代理地址]：上海市岳阳路319号(200031)
[审批历史]：
[页数]：4[附图]：2[优先权]：[PCT]：[范畴]：23D[权利要求]：
一种制备锆钛酸铅厚膜的方法，包括前驱液的制备、甩胶成膜、烘干、高温下退火，其特征在于： （１）新的前驱液是由Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉ的水解物的聚集体加入到化学配比相同的Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉ三元混合溶液中，加入
[权利要求数]：0
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明涉及一种新的制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）厚膜的方法，属于陶瓷厚膜的制备领域。本方法的要点是制备一种特殊的前驱液，这种前驱液是由Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉ的水解物的聚集物与Ｐｂ＿Ｚｒ＃－［（１－Ｘ）］＿Ｔｉ＃－［Ｘ］Ｏ＃－［３］（简写ＰＺＴ）溶液混合而成。Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉ的水解物和ＰＺＴ溶液具有相同的化学配比：Ｐｂ∶Ｚｒ∶Ｔｉ＝１∶Ｘ∶（１－Ｘ），０≤Ｘ≤１。这种前驱液通过甩胶淀积在衬底上，然后经热解、退火处理后在衬底上形成结晶的ＰＺＴ厚膜。本方法具有容易制备厚的膜层、不易开裂，性能均匀且优异等的特点。
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