[TiMing]：WeiBoDengLiZiTiYuanWeiBoDengLiZiTiYuan
[申请号]：00136262[公开号]：1317924
[公告号]：1140161[申请日期]：20001226
[公开日期]：20011017[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：H05H1/46
[申请人]：北京航空工艺研究所
[ShenQingRen]：BeiJingHangKongGongYiYanJiuSuo
[国家省市]：北京(11)
[地址]：北京市340信箱
[DiZhi]：BeiJingShi340XinXiang
[邮编]：100024
[发明人]：武洪臣 [FaMingRen]：WuHongChen
[代理人]：李建英 [DaiLiRen]：LiJianYing
[代理机构]：航空航天工业部航空专利事务所(11008)[代理地址]：北京市和平里小关东里14号(100029)
[审批历史]：
[页数]：2[附图]：4[优先权]：[PCT]：[范畴]：39D[权利要求]：
一种微波等离子体源，其特征是，采用真空弯波导，使石英窗口远离真空室及工艺区，放电发生在谐振腔一侧；在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以堵住向外扩散的磁力线，在线
[权利要求数]：0
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明涉及一种离子注入表面改性、等离子增强沉积及离子氮化的等离子体源。采用真空弯波导，在线圈内腔与波导之间的空间里填充铁芯，并在线圈波导一侧的端头加装铁芯盖，以及线圈外围排置导磁条。由于使用了真空弯波导，从结构上避免了窗口受高能离子轰击以及沉积膜层的现象，窗口工作时间由原来的３－４小时提高到可长期连续工作基本不沉积；铁芯和磁路的使用，大大降低了线圈的工作电流，线圈的发热大约减小为原来的１／４。
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[下一条]：水锤防止装置
