一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置YiZhongMaiChongWeiBoQiangHuaGaoYaDiWenDengLiZiTiHuaXueFanYingZhuangZhi

[题名]：一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置YiZhongMaiChongWeiBoQiangHuaGaoYaDiWenDengLiZiTiHuaXueFanYingZhuangZhi

[TiMing]：YiZhongMaiChongWeiBoQiangHuaGaoYaDiWenDengLiZiTiHuaXueFanYingZhuangZhiYiZhongMaiChongWeiBoQiangHuaGaoYaDiWenDengLiZiTiHuaXueFanYingZhuangZhi

[申请号]：00252860[公开号]：00000000

[公告号]：2458622[申请日期]：20001115

[公开日期]：00000000[公告日期]：20011107

[授权日期]：00000000

[专利类型]：实用新型

[国际类型]：G01N22/00

[申请人]：中国科学院金属研究所

[ShenQingRen]：ZhongGuoKeXueYuanJinShuYanJiuSuo

[国家省市]：沈阳(89)

[地址]：辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

[DiZhi]：LiaoNingShengShenYangShiShenHeQuWenHuaLu72Hao

[邮编]：110015

[发明人]：张劲松;杨永进;张军旗;刘强;沈学逊  [FaMingRen]：ZhangJinSong、YangYongJin、ZhangJunQi、LiuQiang、ShenXueXun

[代理人]：张晨  [DaiLiRen]：ZhangChen

[代理机构]：中国科学院沈阳专利事务所(21002)[代理地址]：辽宁省沈阳市三好街一段二号(110003)

[审批历史]：

[页数]：7[附图]：3[优先权]：[PCT]：[范畴]：31E[权利要求]：
    一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导一同轴转换（１）、同轴腔（２）、带重入柱的ＴＭ↓［０１０］谐振腔（３）连接构成；同轴腔（２）的内导体（２１）深入到ＴＭ↓［０１０

[权利要求数]：6

[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com

[摘要]： 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导－同轴转换（１）、同轴腔（２）、带重入柱的ＴＭ↓［０１０］谐振腔（３）连接构成；同轴腔（２）的内导体（２１）深入到ＴＭ↓［０１０］谐振腔（３）中，并通过高压引入结构（２２）引入等离子体激发电压。本实用新型可以使等离子体得到有效控制，从而可以实现等离子体化学合成的产业化。

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