[TiMing]：YiZhongChanZuoZuoSuanBeiBaoMoCaiLiaoJiQiZhiBeiFangFaYiZhongChanZuoZuoSuanBeiBaoMoCaiLiaoJiQiZhiBeiFangFa
[申请号]：99108057[公开号]：1276439
[公告号]：1142316[申请日期]：19990608
[公开日期]：20001213[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：C23C14/08
[申请人]：中国科学院物理研究所
[ShenQingRen]：ZhongGuoKeXueYuanWuLiYanJiuSuo
[国家省市]：北京(11)
[地址]：北京市603信箱
[DiZhi]：BeiJingShi603XinXiang
[邮编]：100080
[发明人]：吕惠宾;戴守愚;陈凡;赵彤;陈正豪;周岳亮;杨国桢 [FaMingRen]：LvHuiBin、DaiShouYu、ChenFan、ZhaoTong、ChenZhengHao、ZhouYueLiang、YangGuoZuo
[代理人]：王凤华 [DaiLiRen]：WangFengHua
[代理机构]：机械工业部知识产权事务中心(11006)[代理地址]：北京市阜城门外百万庄南里1号(100037)
[审批历史]：
[页数]：4[附图]：0[优先权]：[PCT]：[范畴]：23D[权利要求]：
一种掺铌钛酸钡薄膜，其特征在于：其分子式为ＢａＮｂ↓［ｘ］Ｔｉ↓［１－ｘ］Ｏ↓［３］，其中ｘ的取值范围为：０．００５－０．５，其化学配比均为：Ｂａ∶Ｔｉ∶Ｎｂ＝１∶（１－ｘ）∶ｘ。
[权利要求数]：3
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 本发明属于薄膜材料领域。本发明提供采用在钛酸钡（ＢａＴｉＯ↓［３］）中掺铌（Ｎｂ）的方法制备多功能掺铌钛酸钡（ＢａＮｂ↓［ｘ］Ｔｉ↓［１－ｘ］Ｏ↓［３］）薄膜材料。随着含铌量的不同，薄膜材料具有不同的特性，薄膜含铌量低时，其铁电和热释电等特性较强，随着含铌量的增加，其导电性增强，变为具有金属性的氧化物导电薄膜材料。本发明提供的薄膜材料在电子器件、光学和光探测等方面具有广泛的应用。
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