[TiMing]：WeiJiXieLingJianSanWeiJiaGongFangFaWeiJiXieLingJianSanWeiJiaGongFangFa
[申请号]：200410013615[公开号]：1564094
[公告号]：0000000[申请日期]：20040315
[公开日期]：20050112[公告日期]：00000000
[授权日期]：00000000
[专利类型]：发明专利
[国际类型]：G05B15/02;G05B19/18;G05B19/408
[申请人]：哈尔滨工业大学
[ShenQingRen]：HaErBinGongYeDaXue
[国家省市]：哈尔滨(93)
[地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
[DiZhi]：HeiLongJiangShengHaErBinShiNanGangQuXiDaZhiJie92Hao
[邮编]：150001
[发明人]：闫永达;孙涛;赵清亮;董申;梁迎春;胡振江 [FaMingRen]：ZuoYongDa、SunTao、ZhaoQingLiang、DongShen、LiangYingChun、HuZhenJiang
[代理人]：张伟 [DaiLiRen]：ZhangWei
[代理机构]：黑龙江省松花江专利事务所(23109)[代理地址]：黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街26号四楼(150001)
[审批历史]：
[页数]：12[附图]：5[优先权]：[PCT]：[范畴]：[权利要求]：
一种微机械零件三维加工方法，其特征在于本方法需结合微机械零件三维加工装置来实现：首先，（１）将微机械零件三维加工装置上的三维工作台与主控计算机通过串口连接，三维加工装置上带有金刚石探针的扫描探针显微
[权利要求数]：2
[来源]： 专利查询 http://patents.dic123.com patents.dic123.com
[摘要]： 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台Ｘ、Ｙ向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在Ｘ、Ｙ、Ｚ向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于ＭＥＭＳ器件、掩膜和微小模具的制造。
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