- 真空阴极弧直管过滤器
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1632905 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]H01J37/02、H01J37/317、H05H1/34、C23C16/513 [摘要]
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：王吉东代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 绝缘材料零部件等离子体注入方法及其注入装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1603460 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C14/48 [摘要] 绝缘材料零部件等离子体注入方法及其注入装置，涉及一种对绝缘材料零部件的离子注入方法及注入装置。传统的等离子体注入的条件是工件能够导电，对于绝缘材料无法注入。本发明的注入方法，是在绝缘材料零部件（１）的外部设置接脉冲高压电源负极的、可与绝缘材料零部件相对旋转的金属条（４）或金属筒栅（５）。本发明的注入装置，绝缘材料零部件（１）通过动密封与电机轴（８）相连，在所述绝缘材料零部件（１）....
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：张伟代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 一种细长管筒内表面溅射沉积涂层方法
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1603459 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C14/38 [摘要] 一种细长管筒内表面溅射沉积涂层方法，它涉及细长管筒内表面的涂层工艺。本发明的工艺步骤是：将阴、阳两个电极上下对应地设在细长管筒内，然后将脉冲高压电源与设在细长管筒内的两个电极相连接，阴极与阳极的距离为５ｍｍ～２０ｍｍ，溅射电压为１０ＫＶ～５０ＫＶ，往真空室内通入氩气、氙气或氪气或者同时通入反应气体，气压为０．１Ｐａ～１０Ｐａ，溅射开始后，阴极和阳极同步由细长管筒内的一端向另一端移....
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：刘同恩代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 管筒状工件内表面束线离子注入装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1414136 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C14/48 [摘要] 管筒状工件内表面束线离子注入装置，它涉及一种对管筒状工件内表面实施离子注入的装置，特别是对细长管内壁实施离子注入的装置。它包含离子注入机（１）、真空室（２）和偏转装置（３），偏转装置（３）设置在工件Ａ的内孔中，偏转装置（３）包含有产生与离子束飞行方向相反电场的轴向电极（３－１）和接地电极（３－２），以及设置在轴向电极（３－１）和接地电极（３－２）之间的径向电极（３－３），轴向电极....
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：毕志铭代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 管筒状工件内表面离子注入装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]00000000 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C8/36、H01J37/317 [摘要] 管筒状工件内表面离子注入装置，它涉及一种等离子体处理装置。气体源（１）与真空室（４）相连通，绝缘支架（６）固定在真空室内，管筒状工件（７）安装在绝缘支架上，中心电极（３）的左端设置在管筒状工件的中心处，中心电极的左端头（３－２）裸露，中心电极的中部穿过真空室的侧壁的孔（４－１），中心电极的右端与传动机构（５）连接，中心电极与管筒状工件之间形成既旋转又相对直线移动，高压脉冲电源（２....
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：汪振中代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：实用新型
- 管筒状工件内壁等离子体注入装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]00000000 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C8/36、C23C14/48、H01J37/317 [摘要] 管筒状工件内壁等离子体注入装置，它涉及一种管筒状工件内壁的表面强化装置。由于管筒状工件特定的空间几何尺寸决定离子注入强化方法的应用受到了限制，由于离子注入中离子行走轨迹的直线性（视线性），使得长管内壁注入几乎不可能。本实用新型包括真空室（１）、中心电极（２），中心电极（２）轴向穿过管筒状工件（３）的内腔并与电源（６）的正极连接，管筒状工件（３）与高压电源（６）的负电极相连，在管筒....
- 发明人：田修波;杨士勤代理人：岳泉清代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：实用新型
- 复合等离子体表面处理装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1603466 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C28/00 [摘要] 复合等离子体表面处理装置。本发明涉及一种工件表面处理装置。扩散泵（２）通过管道（４）与真空室（１－２）和旋片泵（３）相连接，真空室１－２的上盖１－３与二级真空室（６－１）相连接，真空室（１－２）的侧壁上设有观察窗（１－６），真空室（１－２）的侧壁上装有磁控溅射靶（１－４）、真空阴极弧（１－５），真空室（１－２）内腔装有射频天线（１－７）和样品台（１－１０），样品台（１－１０）与中....
- 发明人：田修波;崔江涛;杨士勤代理人：岳泉清代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 等离子体脉冲注入的装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1604266 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]H01J37/317、H01L21/265、H01L21/3065、H05H1/00 [摘要] 等离子体脉冲注入的装置，它涉及的是等离子体注入的装置。等离子体发生器（７）设置在真空室（１）的壁上；转动屏蔽片（２）上开有通孔或缺口，转动屏蔽片（２）的转轴（２－１）下端中部与（１）下底端上的轴孔（１－１）转动连接，（２－１）下端与电动机（６）的转轴输出端相连接，（２－１）的一侧设置有屏蔽筒（３），（３）的上端口与（２）的下端面之间有气隙（δ），（３）的下端口连接在（１）的下底上....
- 发明人：田修波;黄永宪;杨士勤代理人：王吉东代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 一种提高镁合金耐蚀性的复合处理方法
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]1632168 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C22/06、C23C22/24、C23C22/82、C23C14/48 [摘要]
- 发明人：田修波;韦春贝;杨士勤代理人：单军代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：发明专利
- 利用高压辉光放电对管筒状工件内表面离子注入的装置
- [地址]黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 [申请人]哈尔滨工业大学 [公开号]00000000 [国家省市]哈尔滨(93) [国际分类]C23C8/36、C23C14/48、H01J37/317 [摘要] 利用高压辉光放电对管筒状工件内表面离子注入的装置，它涉及一种等离子体处理装置，特别是涉及管筒状工件内表面等离子体改性处理的装置。气体源（１）与真空室（４）内相连通，绝缘支架（６）固定在真空室内，管筒状工件（７）安装在绝缘支架上，中心电极（３）的左端设置在管筒状工件的中心处，且中心电极（３）的左端头伸出管筒状工件左端面一段距离，中心电极（３）的右部设置在真空室的侧壁的孔（４－３）内....
- 发明人：田修波;朱剑豪;杨士勤代理人：汪振中代理机构：黑龙江省松花江专利事务所(23109)专利类型：实用新型
