热门关键字：

蚀刻方法及蚀刻装置
[地址]日本国东京都  [申请人]东京毅力科创株式会社  [公开号]1628375  [国家省市]日本(JP)  [国际分类]H01L21/3065  [摘要]     
发明人：胜沼隆幸代理人：龙淳;邸万杰代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司(11245)专利类型：发明专利
合计1个 | 页次：1/1页
专利查询 © 2004-2008 在线翻译 在线专利,专利查询 http://patents.dic123.com