- 阴极溅射设备
- [地址]联邦德国阿尔策瑙 [申请人]应用菲林股份有限两合公司 [公开号]1580319 [国家省市]联邦德国(DE) [国际分类]C23C14/35 [摘要] 本发明涉及一种为了在真空中涂覆基底而阴极溅射的设备，该设备包括载体和冷却系统；载体用于待溅射的材料，基本上为管形并可绕其纵轴线旋转；冷却系统在与设在载体之外的冷却装置相结合时适于使冷却介质在管形的载体中循环；该设备还包括用于连接供电回路的装置和用于使管形的可旋转的载体绕其纵轴线旋转的驱动装置。所述设备还提供磁系统，该磁系统沿纵轴线伸展用于对于设置在由待溅射的材料所制成的靶附近的等....
- 发明人：F·富克斯;S·邦格特;R·林登伯格;H·格里姆;T·斯托莱;U·舒布勒代理人：苏娟;蔡民军代理机构：中国专利代理(香港)有限公司(72001)专利类型：发明专利
